ข้อมูลส่วนประกอบและอุปกรณ์ประกอบสำหรับกล้องจุลทรรศน์แบบลำอิเล็กตรอนที่ติดตั้งบนอุปกรณ์ที่ออกแบบเฉพาะสำหรับใช้ในการเคลื่อนย้ายเวเฟอร์กึ่งตัวนำ หรือเรติเคิล


เวอร์ชั่นข้อมูล

เวอร์ชั่น รหัส / code คำอธิบาย / code name เครื่องมือ
1 90129000001 ส่วนประกอบและอุปกรณ์ประกอบสำหรับกล้องจุลทรรศน์แบบลำอิเล็กตรอนที่ติดตั้งบนอุปกรณ์ที่ออกแบบเฉพาะสำหรับใช้ในการเคลื่อนย้ายเวเฟอร์กึ่งตัวนำ หรือเรติเคิล 16/10/2562