ข้อมูลของกล้องจุลทรรศน์แบบลำอิเล็กตรอนที่ติดตั้งบน อุปกรณ์ที่ออกแบบเฉพาะสำหรับขนย้ายและ เคลื่อนย้ายเวเฟอร์กึ่งตัวนำหรือเรติเคิล


เวอร์ชั่นข้อมูล

เวอร์ชั่น รหัส / code คำอธิบาย / code name เครื่องมือ
1 84869045 ของกล้องจุลทรรศน์แบบลำอิเล็กตรอนที่ติดตั้งบน อุปกรณ์ที่ออกแบบเฉพาะสำหรับขนย้ายและ เคลื่อนย้ายเวเฟอร์กึ่งตัวนำหรือเรติเคิล 16/10/2562