ข้อมูลของเครื่องจักรอัตโนมัติสำหรับการเคลื่อนย้าย ขนย้าย และจัดเก็บเวเฟอร์กึ่งตัวนำ เวเฟอร์คาสเซ็ต กล่องเวเฟอร์ และวัตถุอื่น ๆ สำหรับอุปกรณ์กึ่งตัวนำ


เวอร์ชั่นข้อมูล

เวอร์ชั่น รหัส / code คำอธิบาย / code name เครื่องมือ
1 84869043 ของเครื่องจักรอัตโนมัติสำหรับการเคลื่อนย้าย ขนย้าย และจัดเก็บเวเฟอร์กึ่งตัวนำ เวเฟอร์คาสเซ็ต กล่องเวเฟอร์ และวัตถุอื่น ๆ สำหรับอุปกรณ์กึ่งตัวนำ 16/10/2562