ข้อมูลของเครื่องเซาะโดยใช้ลำไอออนซึ่งถูกโฟกัส สำหรับ สร้างหรือซ่อมมาสก์และเรติเคิล ที่ใช้เป็นแบบแม่พิมพ์ บนอุปกรณ์กึ่งตัวนำ


เวอร์ชั่นข้อมูล

เวอร์ชั่น รหัส / code คำอธิบาย / code name เครื่องมือ
1 84869041000 ของเครื่องเซาะโดยใช้ลำไอออนซึ่งถูกโฟกัส สำหรับ สร้างหรือซ่อมมาสก์และเรติเคิล ที่ใช้เป็นแบบแม่พิมพ์ บนอุปกรณ์กึ่งตัวนำ 16/10/2562