ข้อมูลของเตาเผาและเตาอบแบบทำความร้อนโดยใช้ความต้านทาน สำหรับการผลิตอุปกรณ์กึ่งตัวนำบนเวเฟอร์ กึ่งตัวนำ และของเตาเผาและเตาอบแบบเหนี่ยวนำ หรือแบบไดอิเล็กทริก สำหรับการผลิตอุปกรณ์กึ่งตัวนำบนเวเฟอร์กึ่งตัวนำ

เวอร์ชั่นข้อมูล

เวอร์ชั่น รหัส / code คำอธิบาย / code name เครื่องมือ
1 84869028 ของเตาเผาและเตาอบแบบทำความร้อนโดยใช้ความต้านทาน สำหรับการผลิตอุปกรณ์กึ่งตัวนำบนเวเฟอร์ กึ่งตัวนำ และของเตาเผาและเตาอบแบบเหนี่ยวนำ หรือแบบไดอิเล็กทริก สำหรับการผลิตอุปกรณ์กึ่งตัวนำบนเวเฟอร์กึ่งตัวนำ 16/10/2562