ข้อมูลของเครื่องเคลือบแบบอีพิแทกเซียลสำหรับเวเฟอร์ กึ่งตัวนำและของเครื่องเคลือบน้ำยาไวแสงแบบหมุน บนเวเฟอร์กึ่งตัวนำ


เวอร์ชั่นข้อมูล

เวอร์ชั่น รหัส / code คำอธิบาย / code name เครื่องมือ
1 84869022 ของเครื่องเคลือบแบบอีพิแทกเซียลสำหรับเวเฟอร์ กึ่งตัวนำและของเครื่องเคลือบน้ำยาไวแสงแบบหมุน บนเวเฟอร์กึ่งตัวนำ 16/10/2562