ข้อมูลเครื่องเซาะโดยใช้ลำไอออนซึ่งถูกโฟกัส สำหรับสร้างหรือซ่อมมาสก์และเรติเคิล ที่ใช้เป็นแบบแม่พิมพ์บนอุปกรณ์ กึ่งตัวนำ


เวอร์ชั่นข้อมูล

เวอร์ชั่น รหัส / code คำอธิบาย / code name เครื่องมือ
1 84864010000 เครื่องเซาะโดยใช้ลำไอออนซึ่งถูกโฟกัส สำหรับสร้างหรือซ่อมมาสก์และเรติเคิล ที่ใช้เป็นแบบแม่พิมพ์บนอุปกรณ์ กึ่งตัวนำ 16/10/2562