ข้อมูลPlasma etching; Reactive-ion etching


เวอร์ชั่นข้อมูล

เวอร์ชั่น รหัส / code คำอธิบาย / code name เครื่องมือ
1 H01L0021306500 Plasma etching; Reactive-ion etching 29/09/2562